<<
>>

О МЭМС-резонаторах

Как считает ветеран МЭМС-индустрии Курт Петерсен, МЭМС-резо- наторы не были коммерчески успешными продуктами. Ранее для того, чтобы интегрировать эти резонаторы в структуру рабочего электронного чипа, требовалось достаточно много затрат на единицу продукции, поэтому готовый МЭМС-продукт не мог конкурировать с электронными устройствами на базе кварцевых осцилляторов.

«Я один из тех, кто начал производить МЭМС-резонаторы еще в 1970-х, и тогда считал, что они не смогут конкурировать на рынке микроэлектроники с кварцевыми аналогами», — говорит Курт.

Но это было давно. Сегодня есть все предпосылки к использованию МЭМС-резонаторов в микроэлектронике вместо кварцевых генераторов. Курт, трезво оценив ситуацию в области МЭМС-технологий, микропроизводства и нанолитографии, сделал вывод, что в ближайшем будущем МЭМС-устройства будут доминировать на рынке микроэлектроники.

И неудивительно, что Курт и его коллега Джо Браун работают над новой серией МЭМС-осцилляторов в компании SiTime Согр. Разработанные компанией осцилляторы (рис. 4.7) с частотой от 1 до 125 МГц серии SiTlxxx и SiT8002 уже пользуются спросом у производителей чипов. Готовый продукт характеризуется также малыми размерами: 2 х 2,5 х 0,85 мм.

Это стало возможным с использованием технологии упаковки МЭМС QFN, совместимой с традиционной CMOS-архитектурой. Планы ком-


пании довольно оптимистичны: они хотят вытеснить с рынка кварцевые осцилляторы, которые, по словам Курта, уже проигрывают по компактности и стоимости МЭМС-устройствам.

Еще одно преимущество SiTlxxx и SiT8002 состоит в их вибронезависимости и устойчивости к ударным механическим воздействиям. На сегодняшний день осцилляторы широко используются практически во всех микропроцессорах, без которых, в свою очередь, немыслимы мобильные телефоны, ноутбуки, GPS-навигаторы и цифровые фотокамеры.

Одно из сложнейших препятствий для производителей МЭМС и микроэлектронщиков, которое состояло в нанесении МЭМС наверх микросхемы или чипа (MEMS on top of a wafer), устранено компанией. Ею разработана технология адгезии НЭМС и кремниевых вафель при температуре около 1000еС — «MEMS First».

Изобретение именно этого технологического процесса позволяет компании уверенно заявлять свою позицию на рынке резонаторов. Сама технология «MEMS First» впервые была разработана и запатентована компанией Bosch, a SiTime Согр. применила ее непосредственно для осцилляторов; соответственно, компания имеет право использовать эту технологию только для МЭМС-резонаторов.

Курт надеется, что новые осцилляторы будут использоваться не только в таких «сложных» устройствах, как МРЗ-плееры, но и в брелоках-ключах для автомобильной сигнализации, где тоже необходимы сверхкомпактные резонаторы. Другое применение серии SiTlxxx — гироскопы, акселерометры и другая аналогичная точная техника. Как утверждает Курц, компания может занять до 80% рынка осцилляторов.

ЕГо, как он добавил, для этого потребуется длительное время.

<< | >>
Источник: П.П. Мальцев. Нанотехнологии. Наноматериалы.. 2008

Еще по теме О МЭМС-резонаторах:

  1. О МЭМС-резонаторах
  2. Англо-русский терминологический словарь по микро- и наносистемной технике