<<
>>

Основные понятия в области микросистем

Микросистемная техника: совокупность научно-технических и технологических способов, обеспечивающих создание в объеме и (или) на поверхности твердого тела упорядоченной композиции микронных и субмикронных областей материалов с заданными составом, структурой и геометрией, и направленная на реализацию функций восприятия, преобразования, хранения, обработки, трансляции информации, энергии, движения и выработки управляющих воздействий в требуемых режимах и условиях эксплуатации.

Изделие микросистемной техники (микросистема): совокупность микроэлектронных управляющих и функциональных исполнительных элементов и компонентов в едином конструктивном исполнении, принцип действия которых основан на электрофизических, электромеханических, электрохимических, электронно-оптических, фотохимических процессах и явлениях с учетом эффектов масштабирования при переходе от макро- к микро- и наноразмерным уровням, и предназначенных для реализации функций приема, преобразования, хранения, передачи информации, энергии и движения для выполнения функции конечного назначения в заданных режимах эксплуатации.

(Примечание. Эффект масштабирования заключается в изменении характера эффективности различных видов воздействий на объект, вызванном уменьшением размеров объекта. В данном случае рассматриваются объекты с микронными, субмикронными и наноразмерами. Объем объекта пропорционален третьей степени его размера, а площадь поверхности — второй степени. В результате в микроскопическом мире влияние поверхностной силы становится сильнее влияния массовой (объемной) силы. Например, доминирующей силой при движении микрообъекта является не сила инерции, а электростатическая сила или сила вязкости. На свойства материалов микро- объектов влияют также внутренняя структура материала и поверхности, и в результате, значения характеристик иногда отличаются от их значений в объемах. Характеристики трения в микромире также отличаются от характеристик в макромире, поэтому изменение характеристик и эффективность воздействий тщательно учитывают при проектировании микроустройств).

Микросистемная технология: последовательность технологических операций групповой микрообработки поверхности материала заготовки в целях изготовления, сборки, корпусирования и измерения элементов, компонентов и узлов микросистемы.

(Примечание. Под микрообработкой понимают физическое, химическое или другое воздействие на поверхности заготовки, при котором происходит нанесение, удаление или изменение свойств слоев заданной площади и формы, толщиной от долей нанометров до микрометров).

Микросистемный материал: материал, непосредственно входящий в состав функциональных и конструкционных частей микросистем, упорядоченный в микрообъемах и обладающий отличительными свойствами, обусловленными эффектами субмикронного масштабирования.

Элемент микросистемы: часть микросистемы или функционального микроустройства, реализующая определенную функцию в составе функционального устройства или микросистемы, которая не может быть выделена как самостоятельное изделие с точки зрения требований к испытаниям, приемке, поставке и эксплуатации.

Компонент микросистемы: часть микросистемы или функционального устройства, реализующая определенную функцию в составе функционального устройства или микросистемы, которая может быть выделена как самостоятельное изделие с точки зрения требований к испытаниям, приемке, поставке и эксплуатации.

<< | >>
Источник: П.П. Мальцев. Нанотехнологии. Наноматериалы.. 2008

Еще по теме Основные понятия в области микросистем:

  1. ВЕРНЕР ГЕЙЗЕНБЕРГ И ФИЛОСОФИЯ
  2. 4. Поиски ясности
  3. 1. Блуждание в тумане
  4. 3. Ясная видимость
  5. Пояснительная записка
  6. 1.3. Проблемы юридических гарантий обеспечения лицу, привлекаемому к административной ответственности, права на защиту.
  7. Семья и учреждения образования как самостоятельные субъекты духовного взаимодействия
  8. §8. МЕТОДЫ СОЗДАНИЯ ЛЮБОЙ МАТЕРИИ НА ОСНОВЕ СВОЕГО СОЗНАНИЯ
  9. 2. «Новый» русский общий сленг (интержаргон) и его испытание временем
  10. Уровни организации живой материи и структура экологии
  11. §1.2.2.3. Космологическая стрела времени